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流量范圍3Sccm~30SlpmZ大的入口壓力150psig(Max1500psig)操作壓力正常范圍5~50psid控制范圍50~1準(zhǔn)確選擇(類比)±1.0%ofF.S線性InAccuracy重復(fù)性±0.25%ofF.S
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